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【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通信技術により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を削減
■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の 3種に対応可能。 ■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでのEFEMに走行装置無しで対応が可能！
世界トップシェアを誇る川崎重工の『ウェハ搬送ロボット』は、独自の駆動機構により、 高精度・高剛性な動作を実現した製品です。 独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現した 「NTJシリーズ」や、テレスコピック機構を採用し、低位置への パスラインと高位置への搬送を両立した「TTJシリーズ」をご用意。 また、走行装置無しで4FOUP装置に対応する「NTHシリーズ」や 省スペースでの設置が可能な「NXシリーズ」もございます。 【特長】 ■独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現 ■SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでの EFEMに走行装置無しで対応が可能 ■リングフレームや基板搬送にも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
空荷時の稼働時間は13時間以上で、満載時でも10時間以上の運行が可能です！
『ATS-20』は、半導体業界の効率的な物流を目的とした搬送ロボットで、 20個の収納スペースを搭載しています。 各収納スペースにはREIDセンサーが装備され、収納状況や収納されている ウェハボックスの情報をリアルタイムで監視し、正確な管理を確保。 また、レーザーSLAMに基づくナビゲーション技術を採用し、±10mmの高精度な 位置決めを実現し、輸送過程での正確なナビゲーションを保証します。 【特長】 ■20個トレイ収納スペース ■半導体業界向けの効率的な物流設計 ■多段階の安全保護システム ■レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション ■配置が容易で、複数協同作業に対応 ■長時間連続安定運転 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
＜高精度・高速性・高剛性＞大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えております！
当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(～450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(～450mm) ■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代) ■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代) ■GLASS大気搬送ロボット(～G4世代) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
