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【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通信技術により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を削減
■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の 3種に対応可能。 ■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでのEFEMに走行装置無しで対応が可能！
世界トップシェアを誇る川崎重工の『ウェハ搬送ロボット』は、独自の駆動機構により、 高精度・高剛性な動作を実現した製品です。 独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現した 「NTJシリーズ」や、テレスコピック機構を採用し、低位置への パスラインと高位置への搬送を両立した「TTJシリーズ」をご用意。 また、走行装置無しで4FOUP装置に対応する「NTHシリーズ」や 省スペースでの設置が可能な「NXシリーズ」もございます。 【特長】 ■独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現 ■SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでの EFEMに走行装置無しで対応が可能 ■リングフレームや基板搬送にも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
